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KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用
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伯东公司 KRI 考夫曼霍尔离子源光学蒸镀镀膜机应用
常见蒸镀机台与对应 KRI 霍尔离子源型号：
蒸镀机台尺寸
KRI 离子源
~1100mm
eH1010
1100~1400mm
eH1010, eH1020
1400~1900mm
eH1020, eH3000
KRI 考夫曼霍尔离子源 controller 自动化控制及联机自动化设计，提供使用者在操作上更是便利。
KRI 考夫曼霍尔离子源 Gun body 模块化之设计、提供使用者在于基本保养中能够降低成本及便利性。
伯东公司客户 1400 mm 蒸镀镀膜机安装 KRI考夫曼霍尔离子源 EH1020 F，应用于塑料光学镀膜。
KRI 考夫曼霍尔离子源 EH1020 主要参数:Filament Controller
Discharge controller
Gas controller
17.2A/ 22V
150V/ 4.85A
Ar/ 32sccm
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论, 请联络上海伯东邓女士, 分机134
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伯东企业（上海）有限公司是德国普发授权代理商。伯东真空主营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪；质谱分析仪；真空系统以及 Cryo pump 冷凝泵/低温泵, HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机和美国KRI 离子源.Gamma离子泵。
